特種氣體 specialily gas:用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期,天然1氣公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)出各種技術(shù),以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。






特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存場(chǎng)地的道路,應(yīng)占整個(gè)場(chǎng)地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫(kù)前需檢漏,長(zhǎng)期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次,并做記錄。特種氣體從應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)看,主要包括電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過(guò)程,是下游的行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料,被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“血液”。特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測(cè)等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。

特種氣體的儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存高壓氣體≥300m,液化氣≥3000kgs時(shí),儲(chǔ)存場(chǎng)所需要經(jīng)過(guò)縣級(jí)以上相關(guān)單位批準(zhǔn)。高壓容器儲(chǔ)存場(chǎng)所出入口及顯眼處,需設(shè)有安全警示牌。特種氣體的主要生產(chǎn)工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測(cè)等步驟,其中氣體的純化、混配等是氣體公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體,隨著工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)(特別是微電子技術(shù))的發(fā)展,特種氣體成為工業(yè)氣體市場(chǎng)規(guī)模增長(zhǎng)新動(dòng)力,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。

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